近日，由中国电科博微成功研制的低温精制及脱氖装置，顺利通过出厂验收，以“硬核科技”为我国氦产业链自主创新注入强心剂。

　　低温精制及脱氖装置运用国际领先的超低温吸附分离技术，通过自主创新，可在液氮温区（-196℃）高效脱除氮气、氧气等杂质。不同于传统的高压分离工艺，装置采用中低压深低温吸附工艺提升装置的安全水平，以自主研发的高比表面积吸附剂为核心，将氖气杂质脱除至4百万分比浓度以下，产品氦气纯度达到99.999%，技术参数达到国际领先水平。

　　在结构设计上，该装置突破了传统单级分离模式，运用双塔结构，实现装置体积缩减40%的同时，气体处理效率提高50%，整套系统氦气回收率可达98%以上，将为我国低温超导、半导体制造、高温气冷堆和大科学装置等领域高质量发展提供氦资源保障。

　　未来，中国电科博微将持续强化技术迭代和场景适配，深化在氪气、氙气等超稀有气体提取领域业务布局，通过主导标准制定和研发技术创新，为高端制造提质升级提供核心装备支撑。

　　文章来源：中国电子科技集团有限公司